AMAT PVD & CVD System
AMAT PVD & CVD System
| AMAT Endura 5500 PVD |
CHAMBER SOLUTION
☐ ※ Aluminum Chamber
☐ ※ Ti/TiN Chamber
☐ ※ PCII/RPC Chamber
☐ ※ IMP/Encore Chamber
☐ ※ TxZ Chamber (STD, HP & HP+)
| AMAT Centura 5200 CVD |
CHAMBER SOLUTION
☐ ※ HDP Chamber
☐ ※ WxZ Chamber
☐ ※ DxZ Chamber
☐ ※ PE CVD (TEOS & SION)
☐ ※ CxZ Chamber
